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超广角大工作面f-theta镜头的光学设计

付敏敏 陈培锋 王英 蒋红阳

付敏敏, 陈培锋, 王英, 蒋红阳. 超广角大工作面f-theta镜头的光学设计[J]. 应用光学, 2011, 32(6): 1083-1087.
引用本文: 付敏敏, 陈培锋, 王英, 蒋红阳. 超广角大工作面f-theta镜头的光学设计[J]. 应用光学, 2011, 32(6): 1083-1087.
FU Min-min, CHEN Pei-feng, WANG Ying, JIANG Hong-yang. Optical design of super wide angle f-theta lens with large operation area[J]. Journal of Applied Optics, 2011, 32(6): 1083-1087.
Citation: FU Min-min, CHEN Pei-feng, WANG Ying, JIANG Hong-yang. Optical design of super wide angle f-theta lens with large operation area[J]. Journal of Applied Optics, 2011, 32(6): 1083-1087.

超广角大工作面f-theta镜头的光学设计

详细信息
    通讯作者:

    付敏敏(1985-),男,江西新余人,硕士研究生,主要从事光学设计、光电检测方面的研究。

  • 中图分类号: TN202;TH703

Optical design of super wide angle f-theta lens with large operation area

  • 摘要: 目前国内用于激光标刻机的f-theta镜头的视场角一般小于60。采用望远镜结构,利用视觉放大率增大视场角,得到了超广角90镜头。该方法具有简洁、可靠、易实现等特点。通过初级像差分析,确定系统的初级结构参数,利用ZEMAX软件优化得到了大工作面为285 mm的f-theta镜头,镜头线性畸变误差值不超过1 %,在半径为698 m的圆内,能量集中度为80%,聚焦性能接近衍射极限。
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  • 刊出日期:  2011-11-15

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