激光光刻中数字微镜器件关键技术研究

黄新栋; 尹涛

激光光刻中数字微镜器件关键技术研究

黄新栋^1, ,,
尹涛²

1.
中国科学院上海技术物理研究所,上海200083;
2.
西安通信学院基础部,陕西西安710706

详细信息

通讯作者:
黄新栋（1980-），男，福建福州人，博士，主要从事电路与系统方面的研究。

中图分类号: TN249; TP336
计量
- 文章访问数: 4791
- HTML全文浏览量: 171
- PDF下载量: 1226
出版历程
- 刊出日期: 2011-03-14

Key techniques of DMD in laser lithography

HUANG Xin-dong^1, ,,
YIN Tao²

1.
Shanghai Institute of Technical Physics,CAS,Shanghai 200083,China;
2.
Fundamental Department,Xi-an Institute of Communication,Xi-an 710106,China

摘要

摘要: 在无掩模激光光刻系统中，TI（Texa instrument，德州仪器）公司基于DLP（digital light processing，数字光处理）架构的DMD（digital micromirror device，数字微镜器件）系统已经得到应用，但是存在光刻图像质量和光刻速度无法提高等瓶颈。提出采用单片FPGA控制DMD的架构，使得微镜锁定时间自由可控，在成像质量上高于DLP架构下的光刻成像质量，同时具备的同步功能和高帧频特性可大大提高光刻速度。
- 激光光刻 /
- DMD /
- FPGA /
- 空间光调制器
Abstract: The maskless laser lithography system using digital micromirror device (DMD) based on digital light processing (DLP) structure was used widely, but the lithography image quality and lithography speed should be improved. A new method for solving these problems is proposed, which adopts FPGA to control DMD. The new structure enables the flexible control of micromirror lock and improves the system lithography image quality accordingly. The synchronization signal and high frame rate of the new structure improve system lithography speed.
- laser lithography /
- DMD /
- FPGA /
- SLM

HTML全文

参考文献(1)

［1］王永强, 刘太刚. 空间光调制器简介及其应用［J］. 焦作大学学报, 2007, 3:82-84.
WANG Yong-qiang, LIU Tai-gang. Introduction and
application of spatial light modulator［J］.Journal of Jiaozuo University,2007,3:82-84. (in Chinese with an English abstract)
［2］吴智华, 魏国军, 周小红. 高分辨率衍射图形的DMD并行激光干涉直写［J］. 光子学报, 2008, 37(9): 1784-1787.
WU Zhi-hua,WEI Guo-jun,ZHOU Xiao-hong. High resolution diffraction patterns with DMD laser direct interferential writing system［J］. Acta Photonica Sinic,2008,37(9): 1784-1787. (in Chinese with an English abstract)
［3］吴智华,周小红,魏国军. 采用DMD并行输入的激光干涉直写方法［J］. 激光与红外, 2008, 28(5):424-428.
WU Zhi-hua, ZHOU Xiao-hong, WEI Guo-jun. A way of parallel interferential laser direct writing with DMD［J］.Laser & Infrared,2008,28(5):424-428. (in Chinese with an English abstract)
［4］DUDLEY D, DUNCAN W, SLAUGHTER J. Emerging digital micromirror device (DMD) applications［J］. SPIE, 2003, 4985：14-25.
［5］王小磊，刘向东，张懿. 基于微镜阵列器件的反射式空间光调制器［J］. 浙江大学学报, 2008,42(10):1735-1738.
WANG Xiao-lei,LIU Xiang-dong,ZHANG Yi. Reflex spatial light modulator based on micromirror array devic［J］.Journal of Zhejiang University,2008,42(10):1735-1738. (in Chinese with an English abstract)
［6］王大鹏，韦穗. 数字微镜器件的相位调制性质［J］. 光学学报, 2007, 27(7):1255-1260.
WANG Da-peng, WEI Sui. Phase modulation properties of digital micromirror device［J］. Acta Optica Sinic,2007,27(7):1255-1260. (in Chinese with an English abstract)
［7］黄新栋. 基于DMD的动态场景仿真技术研究［D］. 上海:中国科学院上海技术物理研究所, 2009.
HUANG Xin-dong. Research of dynamic scene simulation based on DMD［D］.Shanghai: Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences,2009. (in Chinese)

施引文献

资源附件(0)

计量

文章访问数: 4791
HTML全文浏览量: 171
PDF下载量: 1226
被引次数: 0

激光光刻中数字微镜器件关键技术研究

通讯作者:
黄新栋（1980-），男，福建福州人，博士，主要从事电路与系统方面的研究。

计量

Key techniques of DMD in laser lithography

计量

目录

相关数据库

广告合作

友情链接

帮助中心

激光光刻中数字微镜器件关键技术研究

通讯作者: 黄新栋（1980-），男，福建福州人，博士，主要从事电路与系统方面的研究。

计量

出版历程

Key techniques of DMD in laser lithography

计量

出版历程

目录

相关数据库

广告合作

友情链接

帮助中心

通讯作者:
黄新栋（1980-），男，福建福州人，博士，主要从事电路与系统方面的研究。