大口径粗糙球面的检测

贺俊; 陈磊; 李新南

大口径粗糙球面的检测

贺俊^1,2,
陈磊¹,
李新南³

1.
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094)
2.
中国兵器工业集团南京北方信息产业集团,江苏南京,210022
3.
中国科学院南京天文与光学技术研究所,江苏南京,210042

详细信息

作者简介:
贺俊（1978-），男，江苏泰州人，博士生，主要研究方向为光学计量测试与光电智能化仪器。

中图分类号: TN21
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出版历程
- 刊出日期: 2009-11-14

Measurement of large aperture rough sphere

1.
Institute of Electronic Engineering &Photo-electric Technology,Nanjing University of Science & Technology,Nanjing,Jiangsu 210094,China;
2.
Nanjing North Information Industrialization Group Corporation,Nanjing,Jiangsu 210022,China;
3.
Nanjing Institute Of Astronomical Optics &Technology,Nanjing,Jiangsu 210042,China

摘要

摘要: 为了解决大口径光学元件在精磨阶段的检测问题，基于电磁场散射理论，分析了在红外干涉仪测量粗糙表面过程中，所产生干涉条纹的对比度与粗糙表面粗糙度之间的关系，并通过测量不同粗糙表面对这一结果进行了实验验证。利用红外干涉仪测量了280#精磨粗糙球面（=1130mm，R=3600mm）的面形，讲述了测量大型粗糙球面时干涉仪的调整方法。从测量结果可以看出，此粗糙球面具有比较明显的球差，面形峰谷（PV）值为0.526(=10.6m)，均方根（RMS）值为0.117(=10.6m)。
- 红外干涉仪 /
- 粗糙度 /
- 粗糙球面
Abstract: In order to measure optical components of large aperture in fine grinding process, the relationship of the contrast of interference fringes and the surface roughness was described by rigorous mathematical analysis based on the electromagnetic scattering theory. The mathematical derivation was verified with experimental data at different roughness. 280# rough sphere with aperture =1130mm, curvature radius R=3600mm, was measured by using the infrared interferometer. When a large aperture rough sphere was measured, the alignment method of infrared interferometer was introduced. The result shows that the rough sphere has obvious spherical aberration. The PV value of the rough sphere is 0.526 (=10.6m), and the RMS value is 0.117 (=10.6m).
- infrared interferometer /
- roughness /
- rough sphere

HTML全文

参考文献(1)

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［8］何勇，陈磊，王青,等. 移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用［J］. 红外与激光工程，2003，32(4):335-338.
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［9］贺俊，王青，陈磊. 移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术［J］. 红外与激光工程,2008,37(3):516-520.
HE Jun, WANG Qin, CHEN Lei. Alignment of Twyman-Green infrared phase-shifting inter-ferometer［J］. Infrared and Laser Engineering，2008,37(3):516-520.

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