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MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用

王学华 薛亦渝 曹宏

王学华, 薛亦渝, 曹宏. MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用[J]. 应用光学, 2006, 27(3): 254-257.
引用本文: 王学华, 薛亦渝, 曹宏. MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用[J]. 应用光学, 2006, 27(3): 254-257.
WANG Xue-hua, XUE Yiyu, CAO Hong. MathCAD applied to testing of the optical constants for thin films with ellipsometer[J]. Journal of Applied Optics, 2006, 27(3): 254-257.
Citation: WANG Xue-hua, XUE Yiyu, CAO Hong. MathCAD applied to testing of the optical constants for thin films with ellipsometer[J]. Journal of Applied Optics, 2006, 27(3): 254-257.

MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用

详细信息
    通讯作者:

    王学华

MathCAD applied to testing of the optical constants for thin films with ellipsometer

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    Corresponding author: WANG Xue-hua1
  • 摘要: 薄膜光学常数决定薄膜的光学性能。通过对椭圆偏振仪测试原理的分析,得到求解薄膜光学常数超越方程的数值算法简化公式,并利用MathCAD的“Solve Block”模块开发了基于Windows系统的椭圆偏振测量薄膜光学常数的计算程序,该程序可用于单层有吸收薄膜或无吸收薄膜折射率和厚度的计算。实际应用结果表明,该计算具有数值准确、精度高、运算速度快、适应性好,对系统无特殊要求等优点,可用于薄膜制备过程的在线检测。
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-05-10

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