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数字化刀口仪定量检验技术的研究

杨斌 王雷 黎高平 辛舟

杨斌, 王雷, 黎高平, 辛舟. 数字化刀口仪定量检验技术的研究[J]. 应用光学, 2006, 27(supp): 90-92.
引用本文: 杨斌, 王雷, 黎高平, 辛舟. 数字化刀口仪定量检验技术的研究[J]. 应用光学, 2006, 27(supp): 90-92.
YANG Bin, WANG Lei, LI Gao-ping, XIN Zhou. tudy of quantitative evaluation technology by using digitization Foucault tester[J]. Journal of Applied Optics, 2006, 27(supp): 90-92.
Citation: YANG Bin, WANG Lei, LI Gao-ping, XIN Zhou. tudy of quantitative evaluation technology by using digitization Foucault tester[J]. Journal of Applied Optics, 2006, 27(supp): 90-92.

数字化刀口仪定量检验技术的研究

详细信息
  • 中图分类号: 274

tudy of quantitative evaluation technology by using digitization Foucault tester

  • 摘要: 在传统刀口仪的基础上,提出了一种对刀口仪进行数字化改进的方案,实现定量检验的目的。在计算机控制下,刀口以一定的步长沿垂直于光轴的XY平面切割像点,CCD实时采集刀口切割像点形成的阴影图像。从几何光学的原理出发,分别对沿X轴和Y轴切割像点形成的系列阴影图像进行了分析处理,得到了被测光学零件表面的斜率信息,计算出零件波像差的均方根值和峰谷值,实现了对光学零件表面面形的定量检测。介绍了系统的组成、原理及测试过程。
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出版历程
  • 刊出日期:  2006-11-09

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