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基于PSD的高精度光电定心仪

张欣婷 安志勇

张欣婷, 安志勇. 基于PSD的高精度光电定心仪[J]. 应用光学, 2014, 35(1): 7-10.
引用本文: 张欣婷, 安志勇. 基于PSD的高精度光电定心仪[J]. 应用光学, 2014, 35(1): 7-10.
ZHANG Xin-ting, AN Zhi-yong. High-precision photoelectric centering instrument based on PSD[J]. Journal of Applied Optics, 2014, 35(1): 7-10.
Citation: ZHANG Xin-ting, AN Zhi-yong. High-precision photoelectric centering instrument based on PSD[J]. Journal of Applied Optics, 2014, 35(1): 7-10.

基于PSD的高精度光电定心仪

详细信息
    通讯作者:

    张欣婷(1984-),女,吉林长春人,博士研究生,主要从事光学设计与光学仪器及检测方面的研究。 Email:luoyiwuhens@163.com

  • 中图分类号: TN202;TH703

High-precision photoelectric centering instrument based on PSD

  • 摘要: 针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状,提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法。采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位,并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心。文中对定心仪的光学系统进行设计,并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性,在测量范围2 mm~500 mm内定心精度达到1 m的设计要求。
  • [1]王肇勋.整组物镜各面偏心差的测量[J].光学工程,1980,7(1):1-11
    WANG Zhao-xun.The test of entire optical system errors[J].Optical Engineering, 1980,7(1):1-11.(in Chinese with an English abstract)
    [2]高志荣.高精度中心偏测量仪的设计和使用[J].光学工程,1983,10(3):40.
    GAO Zhi-yong.The design and use of high precision off-center measurement system[J]. Optical Engineering, 1983,10(3):40. (in Chinese with an English abstract)
    [3]张欣婷.高精度光电自准直仪的研究[D].长春:长春理工大学,2010.
    ZHANG Xin-ting.The research of high-precision photoelectric autocollimator[M]. Changchun: Changchun University of Science and Technology, 2010.(in Chinese)
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  • 刊出日期:  2014-01-15

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