基于少模-无芯-少模光纤结构的高灵敏度折射率传感器

张静, 李永倩

张静, 李永倩. 基于少模-无芯-少模光纤结构的高灵敏度折射率传感器[J]. 应用光学, 2023, 44(2): 462-468. DOI: 10.5768/JAO202344.0208002
引用本文: 张静, 李永倩. 基于少模-无芯-少模光纤结构的高灵敏度折射率传感器[J]. 应用光学, 2023, 44(2): 462-468. DOI: 10.5768/JAO202344.0208002
ZHANG Jing, LI Yongqian. High-sensitivity refractive index sensor based on FMF-CLF-FMF optical fiber structure[J]. Journal of Applied Optics, 2023, 44(2): 462-468. DOI: 10.5768/JAO202344.0208002
Citation: ZHANG Jing, LI Yongqian. High-sensitivity refractive index sensor based on FMF-CLF-FMF optical fiber structure[J]. Journal of Applied Optics, 2023, 44(2): 462-468. DOI: 10.5768/JAO202344.0208002

基于少模-无芯-少模光纤结构的高灵敏度折射率传感器

基金项目: 国家自然科学基金(61775057,61377088);河北省科技计划(SZX2020034);中央高校基础研究基金(2017MS108)
详细信息
    作者简介:

    张静(1981—),女,博士研究生,工程师,主要从事光纤传感技术研究。E-mail:22456188@qq.com

  • 中图分类号: TN253

High-sensitivity refractive index sensor based on FMF-CLF-FMF optical fiber structure

  • 摘要: 光纤折射率传感器广泛应用于各种复杂环境的监测。设计了一种基于少模光纤(few-mode fiber,FMF)–无芯光纤(coreless fiber,CLF)–FMF结构的高灵敏度折射率传感器。该传感器由2小段FMF之间熔接1段减薄的CLF组成马赫-增德尔干涉仪(Mach–Zehnder interference,MZI),测量外界折射率,利用光纤布拉格光栅(fiber Bragg grating,FBG)进行温度补偿。MZI干涉光谱中的谐振波谷同时受折射率和温度影响,FBG只受温度的影响。利用MZI和FBG的折射率和温度灵敏度系数构建灵敏度矩阵,实现折射率和温度的同步测量。实验结果表明,MZI折射率灵敏度为345.66 nm/RIU,温度灵敏度为0.0134 nm/℃;FBG的温度灵敏度为0.0104 nm/℃。
    Abstract: Optical fiber refractive index sensor is widely used for monitoring in various complex environments. A high-sensitivity refractive index sensor based on the structure of few-mode fiber (FMF)-coreless fiber (CLF)-FMF was designed, and the experimental verification was carried out. The sensor consisted of a thinned section of CLF fused between two small sections of FMF to form a Mach-Zehnder interferometer (MZI) for measuring external refractive index, and the fiber Bragg grating (FBG) was used for temperature compensation. The resonance trough of interference spectrum generated by MZI structure was affected by both refractive index and temperature, while FBG was only affected by temperature. The sensitivity matrix was constructed by using the refractive index and temperature sensitivity coefficients of MZI and FBG to realize the simultaneous measurement of refractive index and temperature. Experimental results show that the refractive index sensitivity of MZI is 345.66 nm/RIU, and the temperature sensitivity is 0.0134 nm/℃. Meanwhile, the temperature sensitivity of FBG is 0.0104 nm/℃.
  • 随着光纤技术的发展,光纤传感器已被广泛应用于各种物理、化学甚至生物测量。光纤是一种抗电磁干扰,耐腐蚀,本征绝缘的材料,并且材料本身柔软,直径小,可以做成任意形状的传感器。同时,光纤中的数据可以低损耗传输数十千米,弥补了电学类传感器的不足。近年来,许多不同结构的光纤传感器已经被证明能够用来进行多种参数的测量。在这些参数中,折射率传感器由于在多种工业场合使用而受到了广泛的关注。由于外部环境折射率的测量受温度影响比较大,因此研究人员对折射率和温度的同步测量进行了大量的研究。各种光纤折射率和温度同步测量传感器,如光纤干涉仪传感器[1-4]、表面等离子体共振光纤传感器[5]、光纤光栅传感器[6-9]已经被研发出来。在各种光纤折射率和温度同步测量传感器中,基于不同耦合结构的光纤传感器,如SMF–多模光纤(multimode fiber, MMF)结构–SMF[10-11]、SMF–锥形FBG–SMF[12-14]、特种光纤级联[15],光纤横向偏移拼接[16],混合结构[17-24]等,已在生物、化学等前沿领域引起越来越多的关注。为了消除折射率和温度的交叉影响,研究者们提出多种同时测量2种参数的方法。TONG等[18]人开发了一种由FMF和2个球形结构组成的传感器。球形结构作为耦合器,可以激发高阶模,并将包层模耦合回光纤中。该传感器实现了折射率和温度的同步测量。在1.335~1.398折射率和25 ℃~80 ℃温度范围内,折射率和温度的灵敏度分别为27.77 nm/RIU和0.054 nm/ ℃。DONG等[19]设计了一种基于d型光纤的FBG结构,用于折射率和温度的同步测量。在1.333~1.428折射率范围内,灵敏度为31.79 nm/RIU,温度灵敏度为28.7 pm/ ℃。SHI等[20]利用长周期光栅(long-period grating,LPG)和保偏光纤制作的Sagnac环实现了折射率和温度同步测量。LPG的折射率和温度灵敏度分别为8.36 nm/RIU和0.201 nm/ ℃,Sagnac环的折射率和温度灵敏度分别为23.068 nm/RIU和1.06 nm/ ℃。近年来,为了提高传感器的灵敏度,光纤拉锥和弯曲结构被广泛应用于光纤传感器中 [21-22]。然而,拉锥型光纤传感器的结构脆弱,弯曲结构传感器的制作可重复性较差,因此,很难在实际测量中进行应用。

    本文提出了一种结构简单、易于制作的光纤传感器,实现外部环境折射率和温度的同步测量。传感器是由一段无涂覆并减薄直径的CLF熔接在两小段FMF之间,形成MZI结构,在FMF两端分别熔接SMF作为输入输出光纤。输入端SMF和FMF进行同轴熔接,由于SMF和FMF的模式失配,激发出高阶模式,当光传输到CLF时,基模和高阶模同时在CLF中传输时,当光到达输出端SMF时,高阶模式重新耦合回SMF与基模发生干涉,产生干涉光谱,当外部环境折射率和温度发生变化时,高阶模式的有效折射率发生变化,导致输出端干涉光谱谐振波谷的漂移,输出端SMF熔接FBG进行温度补偿。当光传输到FBG时,满足布拉格条件的波长将被反射,其他波长透射出去。FBG波长只受外界温度的影响,利用FBG测量的温度值对MZI折射率测量值进行补偿,实现折射率和温度的同步测量。该传感器结构简单、成本低廉、易于制造,适用于折射率和温度的同步测量。

    传感器结构示意图如图1所示。一段长度为44 mm减薄的CLF被熔接在2段5 mm的FMF之间,FMF的折射率分布示意图如图2所示。FMF直径为125 µm,CLF直径为50 µm。输入端的FMF与SMF同轴熔接,输出端FMF与FBG熔接。

    图  1  传感器结构示意图
    Figure  1.  Structure diagram of sensor
    图  2  FMF的横截面及折射率分布
    Figure  2.  Cross section and refractive index distribution of FMF

    传感器的制作过程中,首先在CLF的两端分别熔接一段FMF,利用熔接机的手动熔接模式,手动将FMF的纤芯与CLF的中心对齐,操作熔接机放电完成熔接,熔接点的插入损耗约为0.7 dB。其次在FMF的输入端熔接SMF,采用标准SMF熔接模式实现自动熔接。熔接机可以自动将SMF纤芯与FMF纤芯对齐并完成熔接,熔接点的插入损耗约为0.3 dB。完成熔接后,将一段CLF放置在25%的氢氟酸中1 h,去除CLF的部分纤芯,可以通过改变刻蚀温度或刻蚀时间来控制剩余纤芯的直径。当刻蚀到达规定时间后,在输出端FMF后端熔接FBG,FBG与FMF距离尽可能小,避免由于距离产生测量误差。完成熔接后,为防止光纤弯曲、抖动对传感器折射率和温度测量产生影响,对制作的传感器进行了简单封装,将制作的传感器放置在开槽的石英管中,传感器两端采用UV紫外胶固定,封装的传感器如图3所示。

    图  3  封装传感器
    Figure  3.  Physical drawing of packaged sensor

    为了分析传感器中光的传输过程,利用波导仿真软件Rsoft对光纤中模式的传输进行了数值模拟。设置仿真的中心波长为1 550 nm,SMF纤芯折射率为1.468 1,直径为8.2 µm,包层折射率为1.462 8,直径为125 µm,长度为3 mm,FMF的参数设置如图2所示,长度为3 mm,CLF的折射率为1.444,长度为44 mm,仿真结果如图4所示。

    图  4  光传输模式分析
    Figure  4.  Analysis of optical transmission mode

    图4可知,当SMF和FMF同轴熔接后基模中能量减小,部分能量转移到高阶模式中,基模和高阶模式同时在CLF中传输,在输出端高阶模重新耦合回SMF中,高阶模与基模产生干涉,形成干涉光谱。当外界环境的折射率发生变化时,高阶模式的有效折射率发生变化,基模与高阶模式的有效折射率之差也发生变化,从而导致干涉光谱发生漂移。假设干涉光谱中,只有2个模式发生干涉,传感器的透射谱光强[21]可以表示为

    $$ {I_{{\text{out}}}}\left( \lambda \right) = {I_{\text{B}}}\left( \lambda \right) + {I_{\text{H}}}\left( \lambda \right) + 2\sqrt {{I_{\text{B}}}\left( \lambda \right) \cdot {I_{\text{H}}}\left( \lambda \right)} \cdot \cos \left( {\Delta \varphi } \right) $$ (1)

    式中:$ {I_{\text{B}}} $$ {I_{\text{H}}} $分别为基模和高阶模的强度;$ \Delta \varphi $为基模与高阶模的相位差,可以表示为

    $$ \Delta \varphi = 2{\rm{\pi }}\Delta {n_{{\rm{eff}}}}L/{\lambda _0} = \frac{{2{\rm{\pi }}}}{{{\lambda _0}}}\left( {n_{{\rm{eff}}}^{\rm{B}} - n_{{\rm{eff}}}^{\rm{H}}} \right)L $$ (2)

    式中:$ {\lambda }_{0} $为中心波长;$ n_{{\text{eff}}}^{\text{B}} $$ n_{{\text{eff}}}^{\text{H}} $分别为基模和高阶模的有效折射率;$ \Delta {n_{{\rm{eff}}}} = n_{{\rm{eff}}}^{\text{B}} - n_{{\rm{eff}}}^{\text{H}} $为基模与高阶模之间的有效折射率之差;$ L $是传感单元的长度。当$ {\Delta }\varphi $=$ (2m+1)\mathrm{\pi } $时,出现干涉极小,第$ m $阶峰值波长为

    $$ {\lambda _m} = {{2\Delta {n_{{\rm{eff}}}}L} / {\left( {2m + 1} \right)}},m = 1,2, \cdots \text{,} $$ (3)

    当外界折射率和温度发生变化时,$ {\Delta n}_{\mathrm{e}\mathrm{f}\mathrm{f}} $$ L $发生变化,干涉波长发生漂移。

    当光输入到FBG时,满足布拉格条件的波长将被反射,其他波长的光将经过FBG透射,满足布拉格条件的中心波长$ {\lambda }_{B} $可以表示为[19]

    $$ {\lambda _{\text{B}}} = 2{n_{{\text{eff}}}}\Lambda $$ (4)

    式中:$ \Lambda $为光栅周期;$ {n}_{\mathrm{e}\mathrm{f}\mathrm{f}} $为有效折射率。由温度变化引起的光栅中心波长位移可以表示为

    $$\Delta {\lambda _{\rm{B}}}/{\lambda _{\rm{B}}}{\rm{ = }}\left( {\alpha + \xi } \right)\Delta T$$ (5)

    式中:$ \alpha $$ \xi $分别为热膨胀系数和热光学系数。

    由外界环境折射率和温度的变化引起的波长偏移可以表示为

    $$ \left[ \begin{gathered} \Delta {\lambda _m} \\ \Delta {\lambda _{\text{B}}} \\ \end{gathered} \right] = \left[ {\begin{array}{*{20}{c}} {{k_{{\text{R,MZI}}}}}&{{k_{{\text{T,MZI}}}}} \\ 0&{{k_{{\text{T,FBG}}}}} \end{array}} \right]\left[ \begin{gathered} \Delta R \\ \Delta T \\ \end{gathered} \right] $$ (6)

    式中:${k}_{\mathrm{R},{\rm{MZI}}}$$ {k}_{\mathrm{T},\mathrm{M}\mathrm{Z}\mathrm{I}} $分别为MZI的折射率和温度灵敏度系数;$ {k}_{\mathrm{T},\mathrm{F}\mathrm{B}\mathrm{G}} $为FBG的温度灵敏度系数;$ \mathrm{\Delta }{\lambda }_{m} $$ \mathrm{\Delta }{\lambda }_{\mathrm{B}} $分别为MZI和FBG的波长变化量;$ \mathrm{\Delta }R $$ \mathrm{\Delta }T $分别为折射率和温度的变化量。

    实验系统示意图如图5所示。传感器两端分别连接波长范围为1 510 nm~1 590 nm的放大自发辐射光源(amplified spontaneous emission source, ASE)和一个波形分析仪(Finisar公司1500 S),波形分析仪光谱分辨率为0.01 nm,波长范围为1 530 nm~1 570 nm,波形分析仪采集的光谱数据通过USB传输至计算机,利用计算机对数据进行分析和处理。

    图  5  实验系统示意图
    Figure  5.  Schematic diagram of experimental system

    为了测试传感器的温度响应特性,将传感器置于温度可调的恒温水槽中,该装置的精度为0.1 ℃。实验系统实物如图6所示。温度从25 ℃升高到65 ℃,每10 ℃记录一次数据。为了确保测量的准确性,在温度达到设定值5 min后记录数据。不同温度下的透射光谱如图7所示。随着温度的升高,透射光谱的光谱形状和干涉模式保持不变。MZI的谐振波谷与FBG的布拉格波长同时向长波长方向移动。

    图  6  实验系统实物图
    Figure  6.  Physical drawing of experimental system
    图  7  不同温度时传输光谱
    Figure  7.  Transmission spectra at different temperatures

    将MZI谐振波谷和FBG布拉格波长分别与温度进行线性拟合,拟合结果如图8所示。在25 ℃~65 ℃的范围内,MZI和FBG的波长位移分别为0.52 nm和0.41 nm, MZI的温度灵敏度$ {k}_{\mathrm{T},\mathrm{M}\mathrm{Z}\mathrm{I}} $为0.013 4 nm/℃,线性相关系数R2为0.994。FBG的温度灵敏度$ {k}_{\mathrm{T},\mathrm{F}\mathrm{B}\mathrm{G}} $为0.010 4 nm/℃,线性相关系数R2的值为0.999。

    图  8  温度与波长线性拟合
    Figure  8.  Linear fitting of temperature and wavelength

    温度测量实验重复进行6次。将6次测量结果平均,每次的测量值减去平均值,计算重复性误差,结果如图9所示。图9中显示了MZI和FBG的重复性误差,MZI的最大重复性误差为1.109 pm,FBG的最大重复性误差为0.688 pm。FBG的重复性误差较小,是由于FBG透射谱精细度更高,受噪声影响较小。虽然对传感器进行了简单的封装,但传感器在恒温槽加热过程中,水循环波动仍会对透射光谱产生干扰。

    图  9  温度测量的重复性误差
    Figure  9.  Repeatability error of temperature measurement

    将传感器浸泡在5种不同浓度的NaCl溶液中,测量传感器折射率特性,折射率范围为1.336 1~1.349 1。根据NaCl溶液[25]经验公式,在室温25 ℃下制备质量分数分别为1%、3%、5%、7%、9%的NaCl溶液,利用阿贝折射仪测量NaCl溶液的折射率,其折射率分别为1.336 1、1.339 1、1.342 5、1.345 9、1.349 1。在更换每一种NaCl溶液之前,将传感单元浸泡在蒸馏水中,并擦拭干净,使透射光谱恢复到原始状态。利用波形分析仪测量传感器在不同质量分数NaCl溶液下的透射光谱,所得光谱如图10所示。随着NaCl溶液折射率的增加,透射光谱的形状保持不变,MZI谐振波长向长波方向移动,而FBG波长不受折射率的影响。

    对不同折射率条件下的MZI的谐振波谷进行线性拟合,结果如图11所示。在1.336 1~1.349 1范围内,MZI谐振波谷与折射率呈良好的线性关系。MZI的折射率灵敏度$ {k}_{\mathrm{R},\mathrm{M}\mathrm{Z}\mathrm{I}} $为345.66 nm/RIU,线性相关系数R2为0.991。

    图  10  不同折射率时的透射光谱
    Figure  10.  Transmission spectra with different refractive indices
    图  11  外界折射率与MZI谐振波长线性拟合
    Figure  11.  Linear fitting of external refractive index and MZI resonance wavelength

    同样,折射率测量实验重复进行6次。将6次测量结果平均,每次的测量值减去平均值,计算重复性误差,结果如图12所示。由于FBG对折射率不敏感,图12中只显示了MZI测量折射率重复性误差,MZI的最大重复性误差为–5.01 pm,重复性误差稍大的原因可能是由于实验过程中室温发生变化引起的。

    图  12  折射率测量的重复性误差
    Figure  12.  Repeatability error of refractive index measurement

    在实际测量过程中,可以根据FBG波长,计算出温度测量值,再利用测量的温度值补偿MZI的测量值,计算出外界环境的折射率。为了验证传感器在实际测量过程中,温度和折射率同时变化时的性能,选择温度为30 ℃、50 ℃时NaCl溶液质量分数为2%、8%的外界环境进行测试,质量分数为2%、8%的NaCl溶液折射率分别为1.3380、1.3472。由于NaCl溶液具有腐蚀性,为了避免溶液腐蚀恒温设备,将含有NaCl溶液的容器放入到恒温水槽中,再将传感器放入到容器中,测量结果如图13所示。将测量的实际波长值减去理论波长值作为测量误差,结果如表1所示。由表1可知,传感器的测量误差稍大于折射率恒定或温度恒定时的测量误差,分析原因可能是由于实验过程中将含有NaCl溶液的容器放入恒温槽中,导致容器中的液体温度与恒温槽的实际温度存在一定的误差。

    图  13  传感器实际测量光谱图
    Figure  13.  Actual measurement spectrum of sensor
    表  1  传感器实际测量结果及误差
    Table  1.  Actual measurement results and errors of sensor
    温度和折射率FBG理论
    波长值/nm
    FBG实测
    波长值/nm
    FBG波长误差/nmMZI理论
    波长值/nm
    MZI实测
    波长值/nm
    MZI波长误差/nm
    30°C,1.338 01 537.1141 537.109−0.0051 552.1491 552.1600.011
    50°C,1.338 01 537.3221 537.3300.0081 552.4171 552.4230.006
    30°C,1.347 21 537.1141 537.107−0.0071 555.3291 555.315−0.014
    50°C,1.347 21 537.3221 537.3230.0011 555.5971 555.6060.009
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    传感器器和折射率灵敏度与参考文献相比如表2所示。由表2可知,本文设计的传感器折射率灵敏度高于文献[18-21]中设计的传感器,但温度灵敏度低于文献[18-21],主要是由于FBG传感器未进行结构增敏,在以后的传感器研究过程中需进一步提高。

    表  2  不同结构灵敏度比较
    Table  2.  Comparison of sensitivity of different structures
    参考文献传感器结构折射率灵敏度/
    (nm/RIU)
    温度灵敏度/
    (nm/°C)
    本文MZI+FBG345.660.013 4
    [18]FMF+球形耦合结构27.770.054
    [19]d形FBG31.790.029
    [20]Sagnac环23.071.060
    [21]LPFG+MZI165.04−0.256
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    本文研制了一种基于MZI的光纤折射率传感器,利用FBG进行温度补偿,对其传感特性进行了理论分析和实验验证。MZI谐振波谷同时受温度和折射率的影响,FBG只受温度影响,利用FBG测得的温度值对MZI进行温度补偿,实现温度和折射率的同步测量。实验结果表明,MZI的折射率灵敏度为345.66 nm/RIU,温度灵敏度为0.013 4 nm/℃。FBG的温度灵敏度为0.010 4 nm/℃。该传感器线性度较好,价格低廉,制作方便。因此,所提出的传感器适用于物理、生物和化学传感应用。

  • 图  1   传感器结构示意图

    Figure  1.   Structure diagram of sensor

    图  2   FMF的横截面及折射率分布

    Figure  2.   Cross section and refractive index distribution of FMF

    图  3   封装传感器

    Figure  3.   Physical drawing of packaged sensor

    图  4   光传输模式分析

    Figure  4.   Analysis of optical transmission mode

    图  5   实验系统示意图

    Figure  5.   Schematic diagram of experimental system

    图  6   实验系统实物图

    Figure  6.   Physical drawing of experimental system

    图  7   不同温度时传输光谱

    Figure  7.   Transmission spectra at different temperatures

    图  8   温度与波长线性拟合

    Figure  8.   Linear fitting of temperature and wavelength

    图  9   温度测量的重复性误差

    Figure  9.   Repeatability error of temperature measurement

    图  10   不同折射率时的透射光谱

    Figure  10.   Transmission spectra with different refractive indices

    图  11   外界折射率与MZI谐振波长线性拟合

    Figure  11.   Linear fitting of external refractive index and MZI resonance wavelength

    图  12   折射率测量的重复性误差

    Figure  12.   Repeatability error of refractive index measurement

    图  13   传感器实际测量光谱图

    Figure  13.   Actual measurement spectrum of sensor

    表  1   传感器实际测量结果及误差

    Table  1   Actual measurement results and errors of sensor

    温度和折射率FBG理论
    波长值/nm
    FBG实测
    波长值/nm
    FBG波长误差/nmMZI理论
    波长值/nm
    MZI实测
    波长值/nm
    MZI波长误差/nm
    30°C,1.338 01 537.1141 537.109−0.0051 552.1491 552.1600.011
    50°C,1.338 01 537.3221 537.3300.0081 552.4171 552.4230.006
    30°C,1.347 21 537.1141 537.107−0.0071 555.3291 555.315−0.014
    50°C,1.347 21 537.3221 537.3230.0011 555.5971 555.6060.009
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    表  2   不同结构灵敏度比较

    Table  2   Comparison of sensitivity of different structures

    参考文献传感器结构折射率灵敏度/
    (nm/RIU)
    温度灵敏度/
    (nm/°C)
    本文MZI+FBG345.660.013 4
    [18]FMF+球形耦合结构27.770.054
    [19]d形FBG31.790.029
    [20]Sagnac环23.071.060
    [21]LPFG+MZI165.04−0.256
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出版历程
  • 收稿日期:  2022-06-05
  • 修回日期:  2022-07-19
  • 网络出版日期:  2023-01-17
  • 刊出日期:  2023-03-14

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