一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法

马辰昊, 付跃刚

马辰昊, 付跃刚. 一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法[J]. 应用光学, 2015, 36(5): 768-773. DOI: 10.5768/JAO201536.0503001
引用本文: 马辰昊, 付跃刚. 一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法[J]. 应用光学, 2015, 36(5): 768-773. DOI: 10.5768/JAO201536.0503001
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Ma Chen-hao, Fu Yue-gang. Method for increasing HWS sampling rate on lens micro-scanning[J]. Journal of Applied Optics, 2015, 36(5): 768-773. DOI: 10.5768/JAO201536.0503001
Citation: Ma Chen-hao, Fu Yue-gang. Method for increasing HWS sampling rate on lens micro-scanning[J]. Journal of Applied Optics, 2015, 36(5): 768-773. DOI: 10.5768/JAO201536.0503001
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一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法

  • 长春理工大学 光电工程学院,吉林 长春 130022

基金项目: 

国家自然科学基金（61108044）

详细信息
    作者简介:

    马辰昊(1988-)，女，吉林长春人，博士研究生，主要从事光学检测方面的研究工作。Email：mch6567@163.com

    通讯作者:

    付跃刚(1972-)，男，吉林长春人，教授，博士生导师，主要从事光学检测方面的研究工作。 Email：fuyg@cust.edu.cn

  • 中图分类号: TN247

Method for increasing HWS sampling rate on lens micro-scanning

  • School of Opto-Electronic Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China

摘要

    摘要
  • 摘要: 为改善传统哈特曼-夏克波前传感器对待测波前采样不足的缺点，对哈特曼-夏克波前传感器和微扫描进行了分析，提出一种提高哈特曼-夏克波前传感器采样率的透镜式微扫描方法。通过在微透镜阵列之前加入由PZT驱动的透镜扫描装置，对CCD采集的光斑分布情况进行高分辨率微扫描图像重建，通过对重建后的光斑分布进行波前重构，提高了哈特曼波前传感器对待测波前的采样率。通过对比实验验证，波前复原精度提高了41%，可以有效提高哈特曼传感器对波前探测的精度。
    Abstract: In order to improve the shortcoming of insufficient sampling of measured wavefront in traditional Hartmann-Shack wavefront sensor(HWS), the HartmannShack wavefront sensor and micro-scanning technology were analyzed, at the same time, the method of lens micro-scanning by raising the sampling rate in Hartmann-Shack wavefront sensor was proposed . The lens scanning device driven by PbZrTiO3 (PZT) was added before the microlens array,and the highresolution micro-scanning image was reconstructed for the spot distribution collected by the charge coupled device (CCD) . After the wavefront reconstruction of the rebuilt spot distribution, the sampling rate of measured wavefront was improved in Hartmann-Shack wavefront sensor. Comparison experiments verify that the method can raise the recovered accuracy of wavefront by 41%, and it can effectively increase the accuracy of wavefront detection in Hartmann-Shack wavefront sensor.
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